金融界2025年7月1日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“用于测量等离子体密度的装置和方法”的专利，公开号CN120239160A，申请日期为2024年11月。

专利摘要显示，本公开涉及一种用于测量等离子体密度的装置以及用于测量等离子体密度的方法，该装置包括：腔室，其内部具有处理空间；等离子体生成单元，用于在处理空间中生成等离子体；上板，设置在腔室的上部，并且具有多个通孔；以及测量单元，包括穿透上板的测量电缆，并且基于使用测量电缆测量的传输系数来测量处理空间中的每个位置处的等离子体密度。

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